كاشف عيب سطح المواد شبه الموصلة
التطبيقات
للتحكم في العملية وإدارة العائد للقناع الفارغ في مجالات عرض أشباه الموصلات و
مدمجتصنيع شرائح الدوائر ، نحن نستخدم تقنيات اختبار بصرية عالية الإنتاجية لجعلها سريعة و
دقة تلقائيةالكشف عن عيوب سطح القناع الفارغ.وفقًا لاحتياجات المستخدم المحترف ،
قمنا بتطوير سلسلة منآلات فحص القناع عالية الإنتاجية بجودة موثوقة وتكلفة عالية
نسبة الأداء لمساعدة الزجاجالمادة المتفاعلة،الشركات المصنعة للقناع واللوحة لتحديد القناع ومراقبته
عيوب ، وتقليل مخاطر العائد وتحسينهُمالقدرة المستقلة للبحث والتطوير للتقنيات الأساسية.
مبدأ العمل
فيما يتعلق بمستوى ونوع عيب السطح ، عدسات 4x عن بُعد ، ضوء حلقة بزاوية محددة وضوء متحد المحور
مصدريتم اختياره كنهج بصري.عندما يكون الجهاز قيد التشغيل ، تتحرك العينة على طول X
الاتجاه وتقوم وحدة الرؤية باكتشاف العيوب على طول الاتجاه Y.
سمات
| نموذج | SDD0.5-0.5 | |
|
كشف الأداء |
نوع العيب القابل للكشف | خدوش ، غبار |
| حجم العيب القابل للكشف | 1 ميكرومتر | |
|
دقة الكشف (مُقاس) |
100٪ الكشف عن العيوب / جمع عيوب (خدوش ، غبار) |
|
| كفاءة الكشف |
≤10 دقائق (القيمة المقاسة: قناع 350 مم × 300 مم) |
|
|
أداء النظام البصري |
دقة | 1.8 ميكرومتر |
| تكبير | 40 ضعفًا | |
| المجال البصري | 0.5 مم × 0.5 مم | |
| إضاءة الضوء الأزرق | 460 نانومتر ، 2.5 واط | |
|
أداء منصة الحركة
|
X ، Y حركة ذات محورين تسطيح كونترتوب الرخام: 2.5 ميكرومتر دقة إخراج المحور Y باتجاه Z: ≤ 10.5 ميكرومتر دقة إخراج المحور Y باتجاه Z: ≤8.5μm
|
|
| ملاحظة: الإنتاج حسب الطلب متاح. | ||
كشف الصور
إيجابياتنا
نحن مصنع.
عملية ناضجة.
الرد خلال 24 ساعة عمل.
شهادة الأيزو الخاصة بنا
أجزاء من براءات الاختراع لدينا
أجزاء من جوائزنا ومؤهلاتنا للبحث والتطوير
تُباع منتجاتنا في جميع أنحاء العالم ، ويمكنك أن تطمئن إلى العملية الكاملة لمنتجاتنا.
