كاشف عيوب السطح في صناعة أشباه الموصلات
التطبيقات
للتحكم في العملية وإدارة العائد للقناع الفارغ في مجالات تصنيع شاشات أشباه الموصلات ،
يمكننا مساعدة الشركات المصنعة للركيزة الزجاجية والأقنعة واللوحات على تحديد عيوب القناع ومراقبتها ، وتقليل
مخاطر العائد وتحسين قدرتها المستقلة على البحث والتطوير للتقنيات الأساسية.
مبدأ العمل
تحقيق الاختبار التلقائي للعيوب على سطح القناع عن طريق التصوير المجهري فائق الدقة والتصوير الفائق
دقة خوارزمية الكشف عن عيب.
سمات
نموذج | SDD-SX-X | |
كشف الأداء |
نوع العيب القابل للكشف | خدوش ، غبار |
حجم العيب القابل للكشف | 1 ميكرومتر | |
دقة الكشف (المقاسة) |
100٪ الكشف عن العيوب / جمع عيوب (خدوش ، غبار) |
|
كفاءة الكشف |
≤10 دقائق (القيمة المقاسة: قناع 350 مم × 300 مم) |
|
أداء النظام البصري |
القرار | 1.8 ميكرومتر |
تكبير | 40 ضعفًا | |
مجال الرؤية | 0.5 مم × 0.5 مم | |
إضاءة الضوء الأزرق | 460 نانومتر ، 2.5 واط | |
أداء منصة الحركة
|
X ، Y حركة ذات محورين تسطيح كونترتوب الرخام: 2.5 ميكرومتر دقة إخراج المحور Y باتجاه Z: ≤ 10.5 ميكرومتر دقة إخراج المحور Y باتجاه Z: ≤8.5μm |
|
ملاحظة: الإنتاج حسب الطلب متاح. |
كشف الصور
إيجابياتنا
نحن مصنع.
عملية ناضجة.
الرد خلال 24 ساعة عمل.
شهادة الأيزو الخاصة بنا
أجزاء من براءات الاختراع لدينا
أجزاء من جوائزنا ومؤهلاتنا للبحث والتطوير