كاشف عيوب السطح في صناعة رقاقة الدوائر المتكاملة
التطبيقات
للتحكم في العملية وإدارة العائد للقناع الفارغ في مجالات تصنيع شرائح الدوائر المتكاملة ،
يمكننا مساعدة مصنعي الركائز الزجاجية والأقنعة لتحديد ومراقبة عيوب القناع ، وتقليل مخاطر
إنتاج وتحسين قدرتهم المستقلة على البحث والتطوير للتقنيات الأساسية.
مبدأ العمل
يمكن اكتشاف العيوب الموجودة على سطح القناع تلقائيًا من ثلاثة جوانب: أداء نظام البصريات ،
أداء الكاميرا وأداء منصة الحركة.
سمات
| نموذج | SDD-ICC-X-X-X | |
|
كشف الأداء |
نوع العيب القابل للكشف | خدوش ، غبار |
| حجم العيب القابل للكشف | 1 ميكرومتر | |
| دقة الكشف (المقاسة) |
100٪ الكشف عن العيوب / جمع عيوب (خدوش ، غبار) |
|
| كفاءة الكشف |
≤10 دقائق (القيمة المقاسة: قناع 350 مم × 300 مم) |
|
|
أداء النظام البصري |
القرار | 1.8 ميكرومتر |
| تكبير | 40 ضعفًا | |
| مجال الرؤية | 0.5 مم × 0.5 مم | |
| إضاءة الضوء الأزرق | 460 نانومتر ، 2.5 واط | |
|
أداء منصة الحركة
|
X ، Y حركة ذات محورين تسطيح كونترتوب الرخام: 2.5 ميكرومتر دقة إخراج المحور Y باتجاه Z: ≤ 10.5 ميكرومتر دقة إخراج المحور Y باتجاه Z: ≤8.5μm |
|
| ملاحظة: الإنتاج حسب الطلب متاح. | ||
كشف الصور
إيجابياتنا
نحن مصنع.
عملية ناضجة.
الرد خلال 24 ساعة عمل.
شهادة الأيزو الخاصة بنا
أجزاء من براءات الاختراع لدينا
أجزاء من جوائزنا ومؤهلاتنا للبحث والتطوير
تُباع منتجاتنا في جميع أنحاء العالم ، ويمكنك أن تطمئن إلى العملية الكاملة لمنتجاتنا.
