ترسيب الطبقة الذرية في صناعة أشباه الموصلات
التطبيقات
| التطبيقات | الغرض المحدد |
| أشباه الموصلات |
إلجهاز ogic (MOSFET) ، عوازل كهربائية للبوابة عالية K / قطب بوابة |
|
مادة عالية السعة / قطب كهربائي سعوي للوصول العشوائي الديناميكي |
|
|
طبقة ربط معدنية ، طبقة تخميل معدنية ، طبقة بلورية معدنية ، معدن |
|
|
ذاكرة غير متطايرة: ذاكرة فلاش ، ذاكرة تغيير الطور ، وصول عشوائي مقاوم |
مبدأ العمل
تقنية ترسيب الطبقة الذرية (ALD) ، والمعروفة أيضًا باسم تقنية epitaxy للطبقة الذرية (ALE) ، هي مادة كيميائية
بخارتقنية ترسيب الفيلم على أساس التفاعل المرتب والسطح المشبع ذاتيًا.يتم تطبيق ALD في
أشباه الموصلاتمجال.كما قانون مور يتطور باستمرار وخاصية أحجام وحفر الأخاديد المتكاملة
كانت الدوائرباستمرارتصغير ، كانت أخاديد النقش الأصغر والأصغر تجلب شديدة
تحديات للطلاءتكنولوجيامنالأخاديد والجدران الجانبية. تم إجراء عملية PVD و CVD التقليدية
غير قادر على تلبية المتطلباتمن المتفوقتغطية خطوة تحت عرض خط ضيق.تلعب تقنية ALD دور
دور متزايد الأهمية في أشباه الموصلاتصناعةبسبب الحفاظ على الشكل الممتاز والتوحيد والخطوة الأعلى
تغطية.
سمات
| نموذج | ALD-SEM-X-X |
| نظام طلاء الفيلم | AL2ا3 ،TiO2 ،ZnO ، إلخ |
| نطاق درجة حرارة الطلاء | درجة حرارة طبيعية تصل إلى 500 درجة مئوية (قابلة للتخصيص) |
| طلاء حجم غرفة فراغ |
القطر الداخلي: 1200 مم ، الارتفاع: 500 مم (قابل للتخصيص) |
| هيكل غرفة الفراغ | حسب متطلبات العميل |
| فراغ في الخلفية | <5 × 10-7mbar |
| سمك التغليف | ≥0.15 نانومتر |
| دقة التحكم في السماكة | ± 0.1 نانومتر |
| حجم الطلاء | 200 × 200 مم² / 400 × 400 مم² / 1200 × 1200 مم² ، إلخ |
| توحيد سمك الفيلم | ≤ ± 0.5٪ |
| السلائف والغاز الحامل |
ثلاثي ميثيل الألومنيوم ، رباعي كلوريد التيتانيوم ، ثنائي إيثيل الزنك ، ماء نقي ، |
| ملاحظة: الإنتاج حسب الطلب متاح. | |
عينات الطلاء
خطوات عملية
→ ضع الركيزة للطلاء في غرفة التفريغ ؛
← قم بتفريغ غرفة التفريغ في درجات حرارة عالية ومنخفضة ، وقم بتدوير الركيزة بشكل متزامن ؛
→ بدء الطلاء: يتم ملامسة الركيزة مع السلائف بالتسلسل وبدون تفاعل متزامن.
→ تطهيرها بغاز النيتروجين عالي النقاء بعد كل تفاعل ؛
← توقف عن تدوير الركيزة بعد أن تصل سماكة الفيلم إلى المستوى القياسي وتكون عملية التطهير والتبريد
اكتمل ، ثم أخرج الركيزة بعد استيفاء شروط كسر الفراغ.
إيجابياتنا
نحن مصنع.
عملية ناضجة.
الرد خلال 24 ساعة عمل.
شهادة الأيزو الخاصة بنا
أجزاء من براءات الاختراع لدينا
أجزاء من جوائزنا ومؤهلاتنا للبحث والتطوير
تُباع منتجاتنا في جميع أنحاء العالم ، ويمكنك أن تطمئن إلى العملية الكاملة لمنتجاتنا.
