ترسيب الطبقة الذرية في صناعة الطاقة
التطبيقات
| التطبيقات | الغرض المحدد |
| طاقة | الخلايا الشمسية السليكونية البلورية: طبقة التخميل / طبقة عازلة / قطب كهربائي شفاف |
| الخلايا الحساسة للصبغ: طبقة حاجز إعادة التركيب الضوئي / الأنود | |
| خلايا الوقود: غشاء تبادل البروتون / كاثود / إلكتروليت / محفز | |
| بطارية ليثيوم أيون: طلاء معدّل للهيكل النانوي / كاثود / قطب كهربائي | |
المواد الحرارية | |
| طبقة حماية مادة القطب |
مبدأ العمل
هناك أربع خطوات في عملية ترسيب الطبقة الذرية:
1. حقن الغاز الأول في الركيزة للحصول على تفاعل الامتزاز مع سطح الركيزة.
2. اغسل الغاز المتبقي بغاز خامل.
3. حقن الغاز السلائف الثاني ليكون له تفاعل كيميائي مع غاز السلائف الأول الممتص على الركيزة
سطوح لتشكيل الفيلم.
4. قم بحقن الغاز الخامل مرة أخرى لطرد الغاز الزائد بعيدًا.
سمات
| نموذج | ALD-EX-X |
| نظام طلاء الفيلم | AL2ا3 ،TiO2 ،ZnO ، إلخ |
| نطاق درجة حرارة الطلاء | درجة حرارة طبيعية تصل إلى 500 درجة مئوية (قابلة للتخصيص) |
| طلاء حجم غرفة فراغ | القطر الداخلي: 1200 مم ، الارتفاع: 500 مم (قابل للتخصيص) |
| هيكل غرفة الفراغ | حسب متطلبات العميل |
| فراغ في الخلفية | <5 × 10-7mbar |
| سمك التغليف | ≥0.15 نانومتر |
| دقة التحكم في السماكة | ± 0.1 نانومتر |
| حجم الطلاء | 200 × 200 مم² / 400 × 400 مم² / 1200 × 1200 مم² ، إلخ |
| توحيد سمك الفيلم | ≤ ± 0.5٪ |
| السلائف والغاز الحامل | ثلاثي ميثيل الألومنيوم ، رباعي كلوريد التيتانيوم ، ثنائي إيثيل الزنك ، ماء نقي ، |
| ملاحظة: الإنتاج حسب الطلب متاح. | |
عينات الطلاء
خطوة العملية
→ ضع الركيزة للطلاء في غرفة التفريغ ؛
← قم بتفريغ غرفة التفريغ في درجات حرارة عالية ومنخفضة ، وقم بتدوير الركيزة بشكل متزامن ؛
→ بدء الطلاء: يتم ملامسة الركيزة مع السلائف بالتسلسل وبدون تفاعل متزامن ؛
→ تطهيرها بغاز النيتروجين عالي النقاء بعد كل تفاعل ؛
← توقف عن تدوير الركيزة بعد أن تصل سماكة الفيلم إلى المستوى القياسي وتكون عملية التطهير والتبريد
اكتمل ، ثم أخرج الركيزة بعد استيفاء شروط كسر الفراغ.
إيجابياتنا
نحن مصنع.
عملية ناضجة.
الرد خلال 24 ساعة عمل.
شهادة الأيزو الخاصة بنا
أجزاء من براءات الاختراع لدينا
أجزاء من جوائزنا ومؤهلاتنا للبحث والتطوير
تُباع منتجاتنا في جميع أنحاء العالم ، ويمكنك أن تطمئن إلى العملية الكاملة لمنتجاتنا.
