ترسيب الطبقة الذرية في صناعة البصريات
التطبيقات
| التطبيقات | الغرض المحدد |
| بصريات | المكونات البصرية |
| البلورة الضوئية | |
| شاشة مضيئة كهربائيا | |
| مطيافية رامان المعززة بالسطح | |
| أكسيد موصل شفاف | |
طبقة مضيئة ، طبقة التخميل ، طبقة حماية الفلتر ، طلاء مضاد للانعكاس ، مضاد للأشعة فوق البنفسجية |
مبدأ العمل
يُطلق على ترسيب الطبقة الذرية (ALD) ، في الأصل اسم epitaxy للطبقة الذرية ، ويسمى أيضًا بخار الطبقة الذرية الكيميائي
إيداع(ALCVD) ، هو شكل خاص من أشكال ترسيب البخار الكيميائي (CVD).يمكن لهذه التقنية أن تودع المواد
على السطحمن الركيزة في شكل طبقة واحدة من فيلم ذري طبقة ، والتي تشبه المادة الكيميائية الشائعة
ترسب ، ولكن فيعملية ترسيب الطبقة الذرية ، يكون التفاعل الكيميائي لطبقة جديدة من الفيلم الذري مباشرة
المرتبطةالطبقة السابقة ، بحيث تترسب طبقة واحدة فقط من الذرات في كل تفاعل بهذه الطريقة.
سمات
| نموذج | ALD-OX-X |
| نظام طلاء الفيلم | AL2ا3 ،TiO2 ،ZnO ، إلخ |
| نطاق درجة حرارة الطلاء | درجة حرارة طبيعية تصل إلى 500 درجة مئوية (قابلة للتخصيص) |
| طلاء حجم غرفة فراغ | القطر الداخلي: 1200 مم ، الارتفاع: 500 مم (قابل للتخصيص) |
| هيكل غرفة الفراغ | حسب متطلبات العميل |
| فراغ في الخلفية | <5 × 10-7mbar |
| سمك التغليف | ≥0.15 نانومتر |
| دقة التحكم في السماكة | ± 0.1 نانومتر |
| حجم الطلاء | 200 × 200 مم² / 400 × 400 مم² / 1200 × 1200 مم² ، إلخ |
| توحيد سمك الفيلم | ≤ ± 0.5٪ |
| السلائف والغاز الحامل | ثلاثي ميثيل الألومنيوم ، رباعي كلوريد التيتانيوم ، ثنائي إيثيل الزنك ، ماء نقي ، |
| ملاحظة: الإنتاج حسب الطلب متاح. | |
عينات الطلاء
خطوات عملية
→ ضع الركيزة للطلاء في غرفة التفريغ ؛
← قم بتفريغ غرفة التفريغ في درجات حرارة عالية ومنخفضة ، وقم بتدوير الركيزة بشكل متزامن ؛
→ بدء الطلاء: يتم ملامسة الركيزة مع السلائف بالتسلسل وبدون تفاعل متزامن ؛
→ تطهيرها بغاز النيتروجين عالي النقاء بعد كل تفاعل ؛
← توقف عن تدوير الركيزة بعد أن يصل سمك الفيلم إلى المستوى القياسي ويكون تشغيل التهوية والتبريد
اكتمل ، ثم أخرج الركيزة بعد استيفاء شروط كسر الفراغ.
إيجابياتنا
نحن مصنع.
عملية ناضجة.
الرد خلال 24 ساعة عمل.
شهادة الأيزو الخاصة بنا
أجزاء من براءات الاختراع لدينا
أجزاء من جوائزنا ومؤهلاتنا للبحث والتطوير
تُباع منتجاتنا في جميع أنحاء العالم ، ويمكنك أن تطمئن إلى العملية الكاملة لمنتجاتنا.
