ترسيب الطبقة الذرية في مجال الطلاء الواقي
التطبيقات
| التطبيقات | الغرض المحدد |
| طلاء واقي | طلاء مقاوم للتآكل |
| طلاء الختم |
مبدأ العمل
في عملية CVD التقليدية ، تتفاعل سلائف الطور الغازي بشكل مستمر أو جزئي على الأقل.في ALD
معالجة،ومع ذلك ، تحدث التفاعلات فقط على سطح الركيزة.إنها عملية دورية تتكون من عدة
ردود فعل جزئية ،أي ، اتصالات الركيزة مع السلائف بالتسلسل وتتفاعل بشكل غير متزامن.في أي
مع الوقت ، أجزاء فقط منتحدث التفاعلات على سطح الركيزة.خطوات التفاعل المختلفة هذه مقيدة ذاتيًا ،
وهذا هو ، على المركباتيمكن تحضير السطح فقط منالسلائف المناسبة لنمو الفيلم.ردود الفعل الجزئية
عند اكتماللم تعد تحدث ردود فعل عفوية.العمليةسيتم تطهير الغرفة و / أو تفريغها
بواسطة غاز خامل بينمختلفخطوات التفاعل من أجل إزالة جميع الملوثات المتولدةبواسطة جزيئات السلائف في
العمليات السابقة.
سمات
| نموذج | ALD-PC-X-X-X |
| نظام طلاء الفيلم | AL2ا3 ،TiO2 ،ZnO ، إلخ |
| نطاق درجة حرارة الطلاء | درجة حرارة طبيعية تصل إلى 500 درجة مئوية (قابلة للتخصيص) |
| طلاء حجم غرفة فراغ | القطر الداخلي: 1200 مم ، الارتفاع: 500 مم (قابل للتخصيص) |
| هيكل غرفة الفراغ | حسب متطلبات العميل |
| فراغ في الخلفية | <5 × 10-7mbar |
| سمك التغليف | ≥0.15 نانومتر |
| دقة التحكم في السماكة | ± 0.1 نانومتر |
| حجم الطلاء | 200 × 200 مم² / 400 × 400 مم² / 1200 × 1200 مم² ، إلخ |
| توحيد سمك الفيلم | ≤ ± 0.5٪ |
| السلائف والغاز الحامل | ثلاثي ميثيل الألومنيوم ، رباعي كلوريد التيتانيوم ، ثنائي إيثيل الزنك ، ماء نقي ، |
| ملاحظة: الإنتاج حسب الطلب متاح. | |
عينات الطلاء
خطوات عملية
→ ضع الركيزة للطلاء في غرفة التفريغ ؛
← قم بتفريغ غرفة التفريغ في درجات حرارة عالية ومنخفضة ، وقم بتدوير الركيزة بشكل متزامن ؛
→ بدء الطلاء: يتم ملامسة الركيزة مع السلائف بالتسلسل وبدون تفاعل متزامن ؛
→ تطهيرها بغاز النيتروجين عالي النقاء بعد كل تفاعل ؛
← توقف عن تدوير الركيزة بعد أن تصل سماكة الفيلم إلى المستوى القياسي وتكون عملية التطهير والتبريد
اكتمل ، ثم أخرج الركيزة بعد استيفاء شروط كسر الفراغ.
إيجابياتنا
نحن مصنع.
عملية ناضجة.
الرد خلال 24 ساعة عمل.
شهادة الأيزو الخاصة بنا
أجزاء من براءات الاختراع لدينا
أجزاء من جوائزنا ومؤهلاتنا للبحث والتطوير
تُباع منتجاتنا في جميع أنحاء العالم ، ويمكنك أن تطمئن إلى العملية الكاملة لمنتجاتنا.
