ترسيب الطبقة الذرية في صناعة أجهزة الاستشعار
التطبيقات
| التطبيقات | الغرض المحدد |
|
المستشعر |
مستشعر الغاز |
| جهاز استشعار الرطوبة | |
| مستشعر حيوي |
مبدأ العمل
تتكون دورة ترسيب الطبقة الذرية الأساسية من أربع خطوات:
1. سيتم توجيه المادة الأولية الأولى إلى سطح الركيزة ، وستتم عملية الامتصاص الكيميائي تلقائيًا
إنهاءعندما يكون السطح مشبعًا ؛
2. الغازات الخاملة Ar أو N2 والمنتجات الثانوية ، قم بطرد السلائف الزائدة ؛
3. يتم حقن السلائف الثانية وتتفاعل مع السلائف الأولى التي يتم امتصاصها كيميائيًا على سطح الركيزة
شكلالفيلم المطلوب.يتم إنهاء عملية التفاعل حتى يتم امتصاص تفاعل المادة الأولية الأولى
سطح الركيزةقد اكتمل.يتم حقن المادة الثانية ، ويتم مسح السلائف الزائدة
بعيد؛
4. الغازات الخاملة مثل Ar أو N2 والمنتجات الثانوية.
تسمى عملية التفاعل هذه دورة: حقن ودفق السليفة الأولى ، وحقن ودفق
ثانياالسلف.الوقت المطلوب للدورة هو مجموع وقت الحقن للسلائف الأولى والثانية
بالإضافة إلى الاثنينمرات التنظيف.لذلك ، فإن إجمالي وقت التفاعل هو عدد الدورات مضروبًا في وقت الدورة.
سمات
| نموذج | ALD-SEN-X-X |
| نظام طلاء الفيلم | AL2ا3 ،TiO2 ،ZnO ، إلخ |
| نطاق درجة حرارة الطلاء | درجة حرارة طبيعية تصل إلى 500 درجة مئوية (قابلة للتخصيص) |
| طلاء حجم غرفة فراغ |
القطر الداخلي: 1200 مم ، الارتفاع: 500 مم (قابل للتخصيص) |
| هيكل غرفة الفراغ | حسب متطلبات العميل |
| فراغ في الخلفية | <5 × 10-7mbar |
| سمك التغليف | ≥0.15 نانومتر |
| دقة التحكم في السماكة | ± 0.1 نانومتر |
| حجم الطلاء | 200 × 200 مم² / 400 × 400 مم² / 1200 × 1200 مم² ، إلخ |
| توحيد سمك الفيلم | ≤ ± 0.5٪ |
| السلائف والغاز الحامل |
ثلاثي ميثيل الألومنيوم ، رباعي كلوريد التيتانيوم ، ثنائي إيثيل الزنك ،ماء نقي، |
| ملاحظة: الإنتاج حسب الطلب متاح. | |
عينات الطلاء
خطوات عملية
→ ضع الركيزة للطلاء في غرفة التفريغ ؛
← قم بتفريغ غرفة التفريغ في درجات حرارة عالية ومنخفضة ، وقم بتدوير الركيزة بشكل متزامن ؛
→ بدء الطلاء: يتم ملامسة الركيزة مع السلائف بالتسلسل وبدون تفاعل متزامن ؛
→ تطهيرها بغاز النيتروجين عالي النقاء بعد كل تفاعل ؛
← توقف عن تدوير الركيزة بعد أن تصل سماكة الفيلم إلى المستوى القياسي وتشغيل التطهير والتبريدس
اكتمل ، ثم أخرج الركيزة بعد استيفاء شروط كسر الفراغ.
إيجابياتنا
نحن مصنع.
عملية ناضجة.
الرد خلال 24 ساعة عمل.
شهادة الأيزو الخاصة بنا
أجزاء من براءات الاختراع لدينا
أجزاء من جوائزنا ومؤهلاتنا للبحث والتطوير
تُباع منتجاتنا في جميع أنحاء العالم ، ويمكنك أن تطمئن إلى العملية الكاملة لمنتجاتنا.
