ترسب الاخرق المغنطروني في صناعة أشباه الموصلات
التطبيقات
| التطبيقات | الغرض المحدد | نوع المادة |
| أشباه الموصلات | IC ، LSI القطب ، فيلم الأسلاك | منظمة العفو الدولية ، السى ، السى-النحاس ، النحاس ، الاتحاد الافريقى ، Pt ، Pd ، Ag |
| قطب ذاكرة VLSI | مو ، دبليو ، تي | |
| فيلم حاجز الانتشار | MoSix ، Wsix ، TaSixو، TiSx ، W ، Mo ، W-Ti | |
| فيلم لاصق | PZT (Pb-ZrO2-Ti) ، Ti ، W |
مبدأ العمل
مبدأ رش المغنطرون: تحت تأثير المجال الكهربائي ، تصطدم الإلكترونات بذرات الأرجون في هذه العملية
من الطيران إلى الركيزة بسرعة عالية ، مؤينًا الكثير من أيونات الأرجون والإلكترونات ، ثم تطير الإلكترونات إلى
المادة المتفاعلة.تقصف أيونات الأرجون الهدف بسرعة عالية تحت تأثير المجال الكهربائي ، مما يؤدي إلى تطاير الكثير من الهدف
الذرات ، ثم تترسب الذرات المستهدفة المحايدة (أو الجزيئات) على الركيزة لتشكيل أغشية.
سمات
| نموذج | MSC-SEM-X-X |
| نوع الطلاء | أفلام عازلة مختلفة مثل الفيلم المعدني وأكسيد المعدن و AIN |
| نطاق درجة حرارة الطلاء | درجة حرارة طبيعية تصل إلى 500 درجة مئوية |
| طلاء حجم غرفة فراغ | 700 مم * 750 مم * 700 مم (قابل للتخصيص) |
| فراغ في الخلفية | <5 × 10-7mbar |
| سمك التغليف | ≥ 10 نانومتر |
| دقة التحكم في السماكة | ≤ ± 3٪ |
| أقصى حجم للطلاء | ≥ 100 مم (قابل للتخصيص) |
| توحيد سمك الفيلم | ≤ ± 0.5٪ |
| حاملة الركيزة | مع آلية دوران الكواكب |
| المواد الهدف | 4 × 4 بوصات (متوافق مع 4 بوصات وأقل) |
| مزود الطاقة | تعتبر مصادر الطاقة مثل التيار المستمر والنبض والتردد اللاسلكي والانحياز اختيارية |
| غاز المعالجة | أر ، ن2يا2 |
| ملاحظة: الإنتاج حسب الطلب متاح. | |
عينة طلاء
خطوات عملية
→ ضع الركيزة للطلاء في غرفة التفريغ ؛
→ مكنسة كهربائية تقريبًا ؛
← قم بتشغيل المضخة الجزيئية ، قم بتفريغ الهواء بأقصى سرعة ، ثم قم بتشغيل الثورة والدوران ؛
← تسخين غرفة التفريغ حتى تصل درجة الحرارة إلى الهدف ؛
→ تنفيذ التحكم في درجة الحرارة الثابتة ؛
→ عناصر نظيفة
→ تدور والعودة إلى الأصل ؛
→ طلاء الفيلم وفقا لمتطلبات العملية ؛
← انخفاض درجة الحرارة وإيقاف تجميع المضخة بعد الطلاء ؛
← توقف عن العمل عند انتهاء العملية التلقائية.
إيجابياتنا
نحن مصنع.
عملية ناضجة.
الرد خلال 24 ساعة عمل.
شهادة الأيزو الخاصة بنا
أجزاء من براءات الاختراع لدينا
أجزاء من جوائزنا ومؤهلاتنا للبحث والتطوير
تُباع منتجاتنا في جميع أنحاء العالم ، ويمكنك أن تطمئن إلى العملية الكاملة لمنتجاتنا.
