ترسب الاخرق المغنطروني في صناعة البصريات
التطبيقات
| التطبيقات | الغرض المحدد | نوع المادة |
| بصريات |
الأفلام البصرية مثل الفيلم المضاد للانعكاس ، |
SiO2، TiO2، تا2ا5، ZrO2، HfO2 |
| زجاج منخفض الانبعاث |
طبقات متعددة من المعدن (فضة ، نحاس ، قصدير ، إلخ.) |
|
| زجاج موصل شفاف | ZnO: آل ، إلخ |
مبدأ العمل
ميزات الاخرق المغنطروني هي معدل تشكيل فيلم عالي ، درجة حرارة منخفضة للركيزة ، التصاق جيد للفيلم
وطلاء مساحة كبيرة قابلة للتحقيق.يمكن تقسيم هذه التقنية إلى رش المغنطرون بالتيار المستمر ومغنطرون الترددات الراديوية
الاخرق.
سمات
| نموذج | MSC-OX-X |
| نوع الطلاء | أفلام عازلة مختلفة مثل الفيلم المعدني وأكسيد المعدن و AIN |
| نطاق درجة حرارة الطلاء | درجة حرارة طبيعية تصل إلى 500 درجة مئوية |
| طلاء حجم غرفة فراغ | 700mm * 750mm * 700mm (قابل للتخصيص) |
| فراغ في الخلفية | <5 × 10-7mbar |
| سمك التغليف | ≥ 10 نانومتر |
| دقة التحكم في السماكة | ≤ ± 3٪ |
| أقصى حجم للطلاء | ≥ 100 مم (قابل للتخصيص) |
| توحيد سمك الفيلم | ≤ ± 0.5٪ |
| حاملة الركيزة | مع آلية دوران الكواكب |
| المواد الهدف | 4 × 4 بوصات (متوافق مع 4 بوصات وأقل) |
| مزود الطاقة | تعتبر مصادر الطاقة مثل التيار المستمر والنبض والتردد اللاسلكي والانحياز اختيارية |
| غاز المعالجة | أر ، ن2يا2 |
| ملاحظة: الإنتاج حسب الطلب متاح. | |
عينة طلاء
خطوات عملية
→ ضع الركيزة للطلاء في غرفة التفريغ ؛
← قم بتفريغ غرفة التفريغ في درجات حرارة عالية ومنخفضة ، وقم بتدوير الركيزة بشكل متزامن ؛
→ بدء الطلاء: يتم ملامسة الركيزة مع السلائف بالتسلسل وبدون تفاعل متزامن ؛
→ تطهيرها بغاز النيتروجين عالي النقاء بعد كل تفاعل ؛
← توقف عن تدوير الركيزة بعد أن يصل سمك الفيلم إلى المستوى القياسي ويكون تشغيل التهوية والتبريد
اكتمل ، ثم أخرج الركيزة بعد استيفاء شروط كسر الفراغ.
إيجابياتنا
نحن مصنع.
عملية ناضجة.
الرد خلال 24 ساعة عمل.
شهادة الأيزو الخاصة بنا
أجزاء من براءات الاختراع لدينا
أجزاء من جوائزنا ومؤهلاتنا للبحث والتطوير
تُباع منتجاتنا في جميع أنحاء العالم ، ويمكنك أن تطمئن إلى العملية الكاملة لمنتجاتنا.
