ترسب الاخرق المغنطروني في صناعة التسجيل البصري
التطبيقات
| التطبيقات | الغرض المحدد | نوع المادة |
| التسجيل البصري | فيلم تسجيل قرص تغيير المرحلة | TeSe ، SbSe ، TeGeSb ، إلخ |
| فيلم تسجيل القرص المغناطيسي | TbFeCo ، DyFeCo ، TbGdFeCo ، TbDyFeCo | |
| فيلم عاكس للقرص البصري | منظمة العفو الدولية ، AITi ، AlCr ، Au ، سبيكة Au | |
| فيلم حماية القرص البصري | سي3ن4، SiO2+ ZnS |
مبدأ العمل
مبدأ عمل رش المغنطرون هو أن الإلكترونات تصطدم بذرات الأرجون في عملية الطيران إليها
الركيزة تحت تأثير المجال الكهربائي ، وجعلها مؤينة الكاتيونات والإلكترونات الجديدة
الإلكترونات التي تطير إلى الركيزة ، تطير أيونات الأيونات إلى هدف الكاثود بسرعة عالية تحت تأثير المجال الكهربائي
وقصف سطح الهدف بطاقة عالية لجعل الهدف يتلاشى.من بين الجسيمات المتناثرة ،
يتم ترسيب الذرات أو الجزيئات المستهدفة المحايدة على الركيزة لتشكيل الأفلام ، ومع ذلك ، يتم إنشاء الثانوية
تنجرف الإلكترونات إلى الاتجاه المشار إليه بواسطة E (المجال الكهربائي) × B (المجال المغناطيسي) تحت تأثير التيار الكهربائي و
المجالات المغناطيسية ("إزاحة E × B") ، مسارات حركتها تشبه الحلقة الدائرية.إذا كان تحت مجال مغناطيسي حلقي ، فإن
سوف تتحرك الإلكترونات في دائرة تقترب من دائرية على السطح المستهدف.ليس فقط مسارات حركة الإلكترون
طويلة إلى حد ما ، ولكنها أيضًا محدودة في منطقة البلازما بالقرب من السطح المستهدف ، حيث يتأين الكثير من Ar
لقصف الهدف ، وبالتالي تحقيق معدل ترسيب مرتفع.مع زيادة عدد الاصطدامات ، ثانوية
تستهلك الإلكترونات طاقتها ، وتبتعد تدريجياً عن السطح المستهدف وترسب أخيرًا على الركيزة
تحت تأثير المجال الكهربائي.نظرًا لانخفاض طاقة هذا الإلكترون ، فإن الطاقة المنقولة إلى الركيزة كبيرة جدًا
صغيرة ، مما يؤدي إلى انخفاض درجة حرارة الركيزة.
سمات
| نموذج | MSC-OR-X-X |
| نوع الطلاء | أفلام عازلة مختلفة مثل الفيلم المعدني وأكسيد المعدن و AIN |
| نطاق درجة حرارة الطلاء | درجة حرارة طبيعية تصل إلى 500 درجة مئوية |
| طلاء حجم غرفة فراغ | 700 مم * 750 مم * 700 مم (قابل للتخصيص) |
| فراغ في الخلفية | <5 × 10-7mbar |
| سمك التغليف | ≥ 10 نانومتر |
| دقة التحكم في السماكة | ≤ ± 3٪ |
| أقصى حجم للطلاء | ≥ 100 مم (قابل للتخصيص) |
| توحيد سمك الفيلم | ≤ ± 0.5٪ |
| حاملة الركيزة | مع آلية دوران الكواكب |
| المواد الهدف | 4 × 4 بوصات (متوافق مع 4 بوصات وأقل) |
| مزود الطاقة | تعتبر مصادر الطاقة مثل التيار المستمر والنبض والتردد اللاسلكي والانحياز اختيارية |
| غاز المعالجة | أر ، ن2يا2 |
| ملاحظة: الإنتاج حسب الطلب متاح. | |
عينة طلاء
خطوات عملية
→ ضع الركيزة للطلاء في غرفة التفريغ ؛
→ مكنسة كهربائية تقريبًا ؛
← قم بتشغيل المضخة الجزيئية ، قم بتفريغ الهواء بأقصى سرعة ، ثم قم بتشغيل الثورة والدوران ؛
← تسخين غرفة التفريغ حتى تصل درجة الحرارة إلى الهدف ؛
→ تنفيذ التحكم في درجة الحرارة الثابتة ؛
→ عناصر نظيفة
→ تدور والعودة إلى الأصل ؛
→ طلاء الفيلم وفقا لمتطلبات العملية ؛
← انخفاض درجة الحرارة وإيقاف تجميع المضخة بعد الطلاء ؛
← توقف عن العمل عند انتهاء العملية التلقائية.
إيجابياتنا
نحن مصنع.
عملية ناضجة.
الرد خلال 24 ساعة عمل.
شهادة الأيزو الخاصة بنا
أجزاء من براءات الاختراع لدينا
أجزاء من جوائزنا ومؤهلاتنا للبحث والتطوير
تُباع منتجاتنا في جميع أنحاء العالم ، ويمكنك أن تطمئن إلى العملية الكاملة لمنتجاتنا.
