ترسب الاخرق المغنطروني في صناعة العرض
التطبيقات
| التطبيقات | الغرض المحدد | نوع المادة |
| عرض | فيلم موصل شفاف | ITO (In2O؛ -SnO2) |
| فيلم الأسلاك الكهربائية | Mo ، W ، Cr ، Ta ، Ti ، Al ، AlTi ، AITa | |
| فيلم كهربي | ZnS-Mn و ZnS-Tb و CaS-Eu و Y2ا3، تا2ا5، BaTiO3 |
مبدأ العمل
كطريقة شائعة لترسيب البخار الفيزيائي (PVD) ، فإن رش المغنطرون له العديد من المزايا مثل منخفض
درجة حرارة الترسيب وسرعة الترسيب السريع والتوحيد الجيد للأغشية المترسبة.الاخرق التقليدي
تعمل التكنولوجيا على النحو التالي: في بيئة فراغ عالية ، تقصف أيونات الحادث (Ar +) الهدف تحت
تأثير المجال الكهربائي لجعل الذرات أو الجزيئات المحايدة على السطح المستهدف تحصل على طاقة حركية كافية لتغادر
السطح المستهدف وترسب على سطح الركيزة لتشكيل الأفلام.ومع ذلك ، سوف تنجرف الإلكترونات تحت تأثير
المجالات الكهربائية والمغناطيسية ، مما يؤدي إلى انخفاض كفاءة الرش.كما تؤدي مسارات القصف الإلكتروني القصيرة إلى
ارتفاع درجة حرارة الركيزة.من أجل زيادة كفاءة الرش ، يتم تثبيت مغناطيس قوي تحت
الهدف مع أقطاب N و S في مركزها ومحيطها على التوالي.الإلكترونات مقيدة حول الهدف تحت
حركة قوة لورنتز ، تحرك باستمرار في دائرة ، لتوليد المزيد من Ar + لقصف الهدف ، وأخيراً بشكل كبير
زيادة كفاءة الاخرق.
سمات
| نموذج | MSC-DX-X |
| نوع الطلاء | أفلام عازلة مختلفة مثل الفيلم المعدني وأكسيد المعدن و AIN |
| نطاق درجة حرارة الطلاء | درجة حرارة طبيعية تصل إلى 500 درجة مئوية |
| طلاء حجم غرفة فراغ | 700 مم * 750 مم * 700 مم (قابل للتخصيص) |
| فراغ في الخلفية | <5 × 10-7mbar |
| سمك التغليف | ≥ 10 نانومتر |
| دقة التحكم في السماكة | ≤ ± 3٪ |
| أقصى حجم للطلاء | ≥ 100 مم (قابل للتخصيص) |
| توحيد سمك الفيلم | ≤ ± 0.5٪ |
| حاملة الركيزة | مع آلية دوران الكواكب |
| المواد الهدف | 4 × 4 بوصات (متوافق مع 4 بوصات وأقل) |
| مزود الطاقة | تعتبر مصادر الطاقة مثل التيار المستمر والنبض والتردد اللاسلكي والانحياز اختيارية |
| غاز المعالجة | أر ، ن2يا2 |
| ملاحظة: الإنتاج حسب الطلب متاح. | |
عينة طلاء
خطوات عملية
→ ضع الركيزة للطلاء في غرفة التفريغ ؛
→ مكنسة كهربائية تقريبًا ؛
← قم بتشغيل المضخة الجزيئية ، قم بتفريغ الهواء بأقصى سرعة ، ثم قم بتشغيل الثورة والدوران ؛
← تسخين غرفة التفريغ حتى تصل درجة الحرارة إلى الهدف ؛
→ تنفيذ التحكم في درجة الحرارة الثابتة ؛
→ عناصر نظيفة
→ تدور والعودة إلى الأصل ؛
→ طلاء الفيلم وفقا لمتطلبات العملية ؛
← انخفاض درجة الحرارة وإيقاف تجميع المضخة بعد الطلاء ؛
← توقف عن العمل عند انتهاء العملية التلقائية.
إيجابياتنا
نحن مصنع.
عملية ناضجة.
الرد خلال 24 ساعة عمل.
شهادة الأيزو الخاصة بنا
أجزاء من براءات الاختراع لدينا
أجزاء من جوائزنا ومؤهلاتنا للبحث والتطوير
تُباع منتجاتنا في جميع أنحاء العالم ، ويمكنك أن تطمئن إلى العملية الكاملة لمنتجاتنا.
