ترسب الاخرق المغنطروني في مجال الفيلم الوظيفي
التطبيقات
| التطبيقات | الغرض المحدد | نوع المادة |
| فيلم وظيفي | فيلم Superhard | TiN ، TiC |
|
فيلم خفيف |
Cr ، AlSi ، AlTi ، إلخ | |
| فيلم مقاوم | NiCrSi ، CrSi ، MoTa ، إلخ | |
| فيلم فائق التوصيل | YbaCuO ، BiSrCaCuo | |
| فيلم مغناطيسي | Fe ، Co ، Ni ، FeMn ، FeNi ، إلخ |
مبدأ العمل
هناك أنواع كثيرة من المغنطرون الاخرق بمبادئ العمل المختلفة وكائنات التطبيق.لكن هناك
هناك شيء واحد مشترك: فهو يجعل الإلكترونات تعمل في مسارات حلزونية بالقرب من السطح المستهدف عن طريق التفاعل بين
المجالات المغناطيسية والكهربائية ، مما يزيد من احتمالية توليد الأيونات من الإلكترونات التي تصطدم بالأرجون.
ثم تصطدم الأيونات المتولدة بالسطح المستهدف تحت تأثير المجال الكهربائي وترش المواد المستهدفة.
سمات
| نموذج | MSC-FF-X— X |
| نوع الطلاء | أفلام عازلة مختلفة مثل الفيلم المعدني وأكسيد المعدن و AIN |
| نطاق درجة حرارة الطلاء | درجة حرارة طبيعية تصل إلى 500 درجة مئوية |
| طلاء حجم غرفة فراغ | 700 مم * 750 مم * 700 مم (قابل للتخصيص) |
| فراغ في الخلفية | <5 × 10-7mbar |
| سمك التغليف | ≥ 10 نانومتر |
| دقة التحكم في السماكة | ≤ ± 3٪ |
| أقصى حجم للطلاء | ≥ 100 مم (قابل للتخصيص) |
| توحيد سمك الفيلم | ≤ ± 0.5٪ |
| حاملة الركيزة | مع آلية دوران الكواكب |
| المواد الهدف | 4 × 4 بوصات (متوافق مع 4 بوصات وأقل) |
| مزود الطاقة | تعتبر مصادر الطاقة مثل التيار المستمر والنبض والتردد اللاسلكي والانحياز اختيارية |
| غاز المعالجة | أر ، ن2يا2 |
| ملاحظة: الإنتاج حسب الطلب متاح. | |
عينة طلاء
خطوات عملية
→ ضع الركيزة للطلاء في غرفة التفريغ ؛
→ مكنسة كهربائية تقريبًا ؛
← قم بتشغيل المضخة الجزيئية ، قم بتفريغ الهواءبأقصى سرعة ، ثم قم بتشغيل الثورة والدوران ؛
← تسخين حجرة التفريغ حتى تصل درجة الحرارة إلىاستهداف؛
→ تنفيذ التحكم في درجة الحرارة الثابتة ؛
→ عناصر نظيفة
→ تدور والعودة إلى الأصل ؛
→ طلاء الفيلم وفقا لمتطلبات العملية ؛
← انخفاض درجة الحرارة وإيقاف تجميع المضخة بعد الطلاء ؛
→ توقف عن العمل عندماتم الانتهاء من العملية التلقائية.
إيجابياتنا
نحن مصنع.
عملية ناضجة.
الرد خلال 24 ساعة عمل.
شهادة الأيزو الخاصة بنا
أجزاء من براءات الاختراع لدينا
أجزاء من جوائزنا ومؤهلاتنا للبحث والتطوير
تُباع منتجاتنا في جميع أنحاء العالم ، ويمكنك أن تطمئن إلى العملية الكاملة لمنتجاتنا.
